GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼
本 标 准 规定了电子工业用三抓化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标 准 适 用于以粗制三抓化硼为原料,采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三抓化硼,主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注人、干法蚀刻等工艺。